Perfluoroeterska guma (FFKM)je odličan materijal za brtvljenje. Zbog svojih vrhunskih performansi, našao je široku primjenu u cijelom sustavu proizvodnje poluvodiča. Jedan od primarnih potrošnih materijala potrebnih za proizvodnju integriranih krugova su perfluoroeterski brtveni prstenovi.
Glavni monomeri u perfluoroeterskoj gumi su tetrafluoretilen i perfluoroalkil vinil eter, koji su kopolimerizirani s malom količinom trećih monomera s točkama vulkanizacije. To je guma koja uopće ne sadrži CH veze. Sadržaj fluora u njegovoj molekularnoj strukturi, struktura i sadržaj perfluoriranog vinilnog etera te energija veze i količina umrežujućih veza u procesu vulkanizacije utječu na izvedbu vulkaniziranog spoja i temperaturu staklenog prijelaza. Struktura i komponente su različite, kao i njihova izvedba. Sljedeće su osnovne karakteristike performansi perfluoroeter gume:
1) Fizička svojstva: Gustoća je 1.9-2.0g/cm3, fizikalna i mehanička svojstva slična su fluorokaučuku, a kompresija pri visokoj temperaturi bolja je od fluorokaučuka.
2) Kemijska otpornost: Kemijski je otporan.
3) Otpornost na visoke i niske temperature: radna temperatura je obično 260290 stupnjeva, ali se može koristiti povremeno na 316 stupnjeva. Tg (temperatura staklenog prijelaza) nekih perfluoroeterskih guma je -19 stupnjeva.
4) Otpornost na paru visoke temperature.
5) Niska količina oborina i ispuštanje.
6) Otpornost na plazmu.
Ima visoku čistoću i karakteristike proizvoda s malom količinom oborina u okruženju plazme i može izdržati udar plazme dugo vremena.Pouzdanost elastomernih brtvi ključna je u proizvodnji poluvodiča, a trošak zaustavljanja proizvodnje radi zamjene brtvila iznimno je visok. Zahtjevi za čistoćom i čistoćom pečata su izuzetno strogi kako bi se izbjegli potencijalni rizici. Istodobno, brtve moraju moći raditi dulje vrijeme pod pritiskom visokog vakuuma, korozivnih kemijskih plinova i okruženja visoke temperature.
Sirovine perfluoroeter gume su skupe i obično se koriste u proizvodnji poluvodiča. Otporan je na plazma koroziju, plinsku koroziju, kiselinsku i alkalnu koroziju, visokotemperaturnu koroziju, visoke zahtjeve čistoće za gumene brtve, pomaže u održavanju cjelovitosti brtve, smanjuje vrijeme održavanja i poboljšava sigurnost, te je najbolja brtva za proizvodnju poluvodiča Materijal.