Poluvodički vakuumski sustav jedna je od ključnih uređaja za proizvodnju poluvodičkih uređaja. To je zatvoreni sustav u visoko čistom okruženju niskog tlaka za rukovanje i obradu poluvodičkih materijala i uređaja.
U poluvodičkim vakuumskim sustavima često se koriste gumene brtve visokih performansi zbog zahtjeva za visokom čistoćom i malim stopama curenja. Evo nekih uobičajenih vrsta gumenih brtvi:
Viton (FPM) brtve: Viton je fluoroelastomer otporan na kemikalije i visoke temperature koji se široko koristi u vakuumskim sustavima. Ima izvrsnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju i nisku propusnost plina, što ga čini prikladnim za zahtjeve brtvljenja koji podnose visoki vakuum i okolinu visoke temperature.
Brtve od nitrila (NBR): Nitril je sintetička guma opće namjene s dobrom otpornošću na ulje i abraziju. U poluvodičkim vakuumskim sustavima, nitrilne brtve se uglavnom koriste u nekim primjenama koje nisu visoke temperature, nisu korozivne, kao što su niski vakuum i spojevi plinovoda.
Silikonska (VMQ) brtva: Silikon je silikonska guma otporna na visoke temperature s dobrom elastičnošću i otpornošću na toplinu. Često se koristi u poluvodičkim vakuumskim sustavima kako bi izdržao zahtjeve brtvljenja u okruženjima visoke temperature, kao što je toplinska obrada, žarenje i čišćenje parom na visokoj temperaturi.
EPDM brtva: EPDM je etilen-propilenska guma s dobrom otpornošću na oksidaciju, kiselinu i alkalije. U poluvodičkim vakuumskim sustavima, EPDM brtve se često koriste u nekorozivnim aplikacijama koje nisu visoke temperature, kao što su niski vakuum i cjevovodi za prijenos plina.
Ove gumene brtve imaju različite karakteristike i područja primjene. Prilikom odabira odgovarajuće brtve moraju se uzeti u obzir čimbenici kao što su radni uvjeti sustava, raspon temperature, svojstva medija i zahtjevi za tlakom. Osim toga, kako bi se osigurala učinkovitost brtvljenja, proces proizvodnje i ugradnje brtvi također mora slijediti stroge zahtjeve procesa.
U poluvodičkim vakuumskim sustavima, uz gumene brtve, često se koriste gumene brtve za postizanje učinkovitog brtvljenja. Evo nekih uobičajenih vrsta gumenih brtvi:
Brtva O-prstena: O-prsten je gumena brtva s kružnim poprečnim presjekom i naširoko se koristi u poluvodičkim vakuumskim sustavima. Ima dobru izvedbu brtvljenja i sposobnost deformacije kompresije i može se prilagoditi različitim zahtjevima brtvljenja, kao što su spojevi cijevi, ventili, spojevi itd.
Ravna brtva: ravna brtva je ravna gumena brtva koja se obično koristi za prirubničke spojeve u poluvodičkim vakuumskim sustavima. Ostvaruje brtvljenje kroz kontakt s površinom prirubnice i obično je izrađen od gumenog materijala otpornog na visoke temperature i kemikalije kao što je viton ili silikon.
Brtva u obliku slova U: brtva u obliku slova U je gumena brtva poprečnog presjeka u obliku slova U prikladna za specifične potrebe brtvljenja u poluvodičkim vakuumskim sustavima. Često se koristi za brtvljenje klipova, klipnjača, cilindara i drugih komponenti, a ima dobru izvedbu brtvljenja i otpornost na kompresijske deformacije.
Brtva u obliku slova V: brtva u obliku slova V je gumena brtva poprečnog presjeka u obliku slova V koja se obično koristi za ventile i brtve rotirajuće osovine u poluvodičkim vakuumskim sustavima. Ostvaruje učinkovito brtvljenje kroz kontakt s brtvenom površinom i ima dobro brtvljenje i otpornost na habanje.
Odabir ovih gumenih brtvi određuje se na temelju specifičnih zahtjeva za brtvljenjem, radnim uvjetima i svojstvima medija. U isto vrijeme, odabir materijala brtve također je vrlo važan. Uobičajeno korišteni materijali uključuju viton, nitril, silikon, itd. Poseban odabir treba uzeti u obzir faktore kao što su temperaturni raspon, kemijska otpornost na koroziju i brzina istjecanja plina. Prilikom postavljanja brtve treba obratiti pozornost na održavanje brtvene površine čistom i osigurati da je brtva pravilno postavljena i pritisnuta kako bi se postigao dobar učinak brtvljenja.
Popularni tagovi: poluvodički vakuumski sustav brtvila, Kina poluvodički vakuumski sustav brtvila proizvođači, dobavljači, tvornica
